■特徴

1.　露光後のエッチングレジストをアルカリ溶液等で現象処理をします。
2.　効果的な撹拌による液流で、迅速かつ均一な処理が出来ます。
3.　効率の良いフィルタリングにより、スカム等異物付着防止に対応しています。
4.　低テンション・水平直進搬送により、レジストのキズ・割れが防止出来ます。

■工程

巻出し → 現像 → 洗浄 → 乾燥 → 巻取り

■能力

搬送方法　 ： 水平搬送　サーボモーター駆動
ライン条数 ： １ 〜 ４条
処理速度　 ： ０．５ｍ 〜 ４．０ｍ／分（常用２．０ｍ／分）

■寸法

１１，０００×１，０００×１，５００（ｍｍ）
（架台を含め、ライン２条で標準工程の場合）