■特徴

1. エッチング後のレジストをアルカリ溶液等で剥離処理をします。
2. 効果的な撹拌による液流で、迅速かつ均一な処理が出来ます。
3. 効率の良いフィルタリングにより、スカム等異物付着防止に対応しています。
4. 低テンション・水平直進搬送により、テープの伸び・変形が防止出来ます。

■工程

巻出し → 剥離 → 洗浄 → 乾燥 → 巻取り

■能力

搬送方法  : 水平搬送 サーボモーター駆動
ライン条数 : 1 〜 4条
処理速度  : 0.5m 〜 4.0m/分(常用2.0m/分)

■寸法

15,000×1,000×1,500(mm)
(架台を含め、ライン2条で標準工程の場合)